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UVナノインプリント装置
R&D向けUVナノインプリントシステム WP-1000
■特 徴
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2P製法による薄膜形成が可能
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丸形ワーク,ウエハー,角形ワーク表面へ精密層の形成が可能
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薄膜形成用ワーク ( Glass, Polycarbonate, Epoxy等々 ) への対応が可能
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高精度の膜厚制御コントロール ( 100μm±1.0μm ) が可能
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